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大宗特種氣體供氣系統(tǒng)的應(yīng)用和介紹

2020-03-02 10:00:41    責(zé)任編輯: 沃飛科技     0

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)的應(yīng)用和介紹


大宗特種氣體供氣系統(tǒng)介紹(集成電路、太陽(yáng)能電池、LED、液晶顯示)

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類(lèi)包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類(lèi)包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)(氣體種類(lèi)包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安,全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場(chǎng)制氣(On-site)或工業(yè)園區(qū)管道(Pipeline)集中供應(yīng)方式,一個(gè)年產(chǎn)5萬(wàn)片的8英寸 超大規(guī)模集成電路廠高純氮?dú)獾男枨蟪^(guò)5,000Nm3/h,發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)和硅外延生產(chǎn)線(xiàn)的氫氣需求超過(guò)100Nm3/h。

除了普通鋼瓶(50L及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類(lèi)的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱(chēng)為大宗特氣,包括Y-鋼瓶(450L),T-鋼瓶(980L),集裝格(940L),ISO罐(22,500L),大灌車(chē)(13,400L)等。

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)(BSGS)采用全自動(dòng)PLC控制系統(tǒng),彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾?,自?dòng)真空輔助放空;多重安,全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。特種氣體采用單獨(dú)氣源,多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng),VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空等。由于BSGS氣源總量大,多采用單獨(dú)的氣體房,單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)。

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