特氣系統(tǒng)是保證半導體、集成電路、太陽能電池、光纖和科研實驗室等高新型技術行業(yè)中特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的供氣系統(tǒng)。VMB在特氣系統(tǒng)中是特氣分配到各工藝用氣點的氣體設備。

特種氣體

特種氣體，簡稱特氣，又名電子特氣，是生產半導體、集成電路、太陽能電池等電子產品的特殊氣體，這些特殊氣體大多都是易燃易爆、有毒、腐蝕性、氧化性等性質的危險性氣體，如硅烷SiH4、笑氣N2O等。

特氣系統(tǒng)的組成

特氣系統(tǒng)由供氣端（一般是氣體鋼瓶）、GC電子特氣柜/GR特氣架、氣體分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的EP不銹鋼氣體管道、氣體泄漏監(jiān)測報警系統(tǒng)、使用終端等組成。

VMB在特氣系統(tǒng)中的經濟性

首先，我們來了解一下VBM在特氣系統(tǒng)中的作用，VMB 可根據(jù)客戶的實際需求來設計2、3、4、5或其他點數(shù)的數(shù)目，將氣體一分多，給不同工藝用氣設備供氣，同時供應數(shù)臺機臺，亦可加調壓閥做二次調壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設定上下警報訊號做更有效的供應控制。

同時，在特氣系統(tǒng)中，特氣的每次使用都是需要經過吹掃和抽真空的，對于使用同種氣體的不同用氣設備，配置氣體分配箱VMB則只需要做一次吹掃和抽真空，節(jié)省時間成本和人力成本。

以上就是關于特氣系統(tǒng)中氣體分配箱VMB作用的簡單介紹，感謝您的閱讀！