Valve Manifold Box，氣體閥門分配箱，以下簡(jiǎn)稱VMB。下圖是一個(gè)公司定制半自動(dòng)分配箱。

VMB是一種內(nèi)嵌多支分發(fā)管與排氣管，實(shí)現(xiàn)高純氣體或或者液體分流的閥門箱。它能讓氣體從單一來(lái)源被分配到多點(diǎn)應(yīng)用 ，而且對(duì)于每個(gè)使用點(diǎn), 氣壓還可被單獨(dú)地調(diào)控, 從而滿足個(gè)別應(yīng)用需求，是一種高精度的氣體設(shè)備。

VMB有手動(dòng)分配箱和半（全）自動(dòng)分配箱，兩者之間的區(qū)別在于是否通過(guò)PLC面板控制和系統(tǒng)功能的多少。咱們下面所講的就是半自動(dòng)分配箱的功能和拆分。

VMB是被設(shè)計(jì)且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)，既然專為危險(xiǎn)性氣體設(shè)計(jì)，那拆卸的時(shí)候豈不是很危險(xiǎn)？當(dāng)然不是，我們聰明又專業(yè)的設(shè)計(jì)工程師自然也考慮到了這一點(diǎn)。因此，我們的VMB是具有循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能的。能夠在無(wú)危險(xiǎn)氣體泄漏的情況下安全地拆卸 VMB 的每一部分，不僅如此，它還能在不影響其它應(yīng)用點(diǎn)的氣體供應(yīng)下, 單獨(dú)清洗某一氣體分發(fā)管或者對(duì)其進(jìn)行真空抽氣。

功能咱們簡(jiǎn)單介紹了，撒，讓我們開(kāi)始拆分它吧！

一、半自動(dòng)分配箱（VMB）硬件配置

1. 人機(jī)界面：作為人與控制器的控制與溝通界面。

一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，同時(shí)亦可接受操作人員下達(dá)的指令，作為系統(tǒng)運(yùn)作的確認(rèn)。

2. PLC：整體控制的處理中心。

3. 電磁閥：控制氣動(dòng)閥的開(kāi)閉。

(電磁閥為可撥式Type，可依需求強(qiáng)制開(kāi)啟電磁閥)

4. 警急遮斷按鈕：系統(tǒng)發(fā)生異常時(shí)按此鈕關(guān)閉盤面氣動(dòng)閥。

5. LED指示燈：以亮燈表示系統(tǒng)目前的狀態(tài)。

系統(tǒng)正常：（Normal）

存量不足：（Low Quantity）

異常報(bào)警：（Shutdown）Or (Warning)

6. 紫/紅外線火焰感知器：當(dāng)感測(cè)到火災(zāi)發(fā)生時(shí)作動(dòng)，將訊息傳至PLC處理。

7. 差壓設(shè)定開(kāi)關(guān)：當(dāng)箱體與大氣壓之差壓未達(dá)設(shè)定值動(dòng)作，將訊息傳至PLC處理。

8. 差壓計(jì)：顯示箱體與大氣壓之差壓。

9. 繼電器：依電路設(shè)計(jì)可作為控制或接點(diǎn)之輸出。

10. 電源供應(yīng)器：因控制回路所使用之電源為DC 24V，故需Power Supply做為轉(zhuǎn)換。

11. 溫度開(kāi)關(guān)：當(dāng)感測(cè)到箱體溫度高于設(shè)定值時(shí)，將訊息傳至PLC處理。

12. I.A過(guò)流量開(kāi)關(guān)：當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥之軟管松脫或爆裂導(dǎo)致流量過(guò)大，將輸出訊號(hào)告知。

二、半自動(dòng)分配箱（VMB）安全功能介紹

1. 緊急停止按鈕：按下緊急停止按鈕即可關(guān)斷所有的氣動(dòng)閥。

2. 遠(yuǎn)程緊急停止控制：當(dāng)遠(yuǎn)程緊急停止動(dòng)作驅(qū)動(dòng)則即可關(guān)斷所有的氣動(dòng)閥。

3. I.A壓力開(kāi)關(guān)：當(dāng)氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)壓力不足時(shí)則會(huì)輸出警報(bào)告知。設(shè)定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa

4. 過(guò)溫開(kāi)關(guān)：當(dāng)偵測(cè)到箱體環(huán)境溫度高于設(shè)定值時(shí)則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉所有閥件。設(shè)定溫度為70℃

5. 紫/紅外線火焰感知器：當(dāng)感測(cè)到火災(zāi)發(fā)生時(shí)作動(dòng)，則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉所有閥件。

6. 過(guò)流量開(kāi)關(guān)：當(dāng)管路內(nèi)的流量過(guò)大導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)過(guò)流量開(kāi)關(guān)(EFS)，則會(huì)輸出警報(bào)告知并且自動(dòng)關(guān)閉該使用側(cè)的閥件。

7. 壓差開(kāi)關(guān)：當(dāng)箱體內(nèi)的壓差過(guò)小的狀態(tài)下，則會(huì)輸出警報(bào)告知。設(shè)定壓差為50 Pa以上。當(dāng)壓差不足，當(dāng)氣體外泄時(shí)時(shí)易發(fā)生氣體擴(kuò)散出箱體，故開(kāi)啟箱體門前敬請(qǐng)注意箱體與大氣的壓差是否足夠。

VMB氣體閥門分配箱，因其設(shè)計(jì)初衷和適用氣體，被廣泛用于Semiconductor、TFT、SunSolar、LED，研究所，高校實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)。比如：目前，因制程越來(lái)越先進(jìn)，大流量特氣供氣的需求越來(lái)越多，產(chǎn)生了BSGS的系統(tǒng)，而為達(dá)到供應(yīng)的穩(wěn)定，一臺(tái)會(huì)分配到多臺(tái)VMB。

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